경기대학교 전자공학과

교직원

교수진 소개

정원채
  • 정원채
  • 직급 : 교수
  • 이메일 : wcjung@kgu.ac.kr
  • 연락처 : 031-249-9803
  • 교수실 : 제2공학관 412호
  • 연구실 : 반도체물성 연구실

학위/경력

한양대학교 전자공학과 공학사 (1981)
한양대학교 전자공학과 공학석사 (1983)
독일ERLANGEN대 전기전자공학과 공학박사 (1994)

 

경기대학교 전자공학과 교수 (1995~)

국제논문/학술발표

1. 정원채 외2명 「검은 크롬 증착의 열적인 열화」, Solar Energy Materials & Solar Cells(63집 2호), pp.125-137, 2000.07. Elsevier
2. 정원채 외1명 「니켈산화물의 전기적착색의 성질과 주기적인 지속성에 대한 기판온도의 효과」, JKPS(45권 2호), pp.447-454, 2004.08. Journal of the Korean Physical Society
3. 정원채 외1명 「화학적 식각과 시뮬레이션을 이용하여 NMOS에서 비소의 농도분포에 관한 연구」, JKPS(45권 4호), pp.1078-1084, 2004.10. Journal of the Korean Physical Society
4. 정원채 「실리콘에서 BF2 이온주입에 의한 붕소의 농도분포에 관한 연구」, JKPS(46권 5호), pp.1218-1223, 2005.05. 한국물리학회
5. 정원채 「Development of an Analytical Model in Implanted and Annealed Silicon Through the Vertical and Sloped Mask」, Journal of the Korean Physical Society(52권 1호), pp.120-126, 2008.01. 한국물리학회
6. 정원채 「Optimization of the profiles in MeV implanted silicon through the modification of electronic stopping power」, Transactions on Electrical and Electronic Materials(14권 2호), pp.94-100, 2013.04. The Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
국내논문ㆍ학술발표저서

국내논문/학술발표

1. 정원채 「SOI - Water 제작기술에 관한 연구」, 경기대학교 논문집(36집), pp.523-537, 1995.06. 경기대학교
2. 정원채 「Gettering 효과측면에 대한 Life Time 측정」, 산업기술종합연구소 논문집(12권), pp.121-131, 1996.06. 경기대학교 산업기술종합연구소
3. 정원채 「Range and Defect Distribution of High Energy Implantation of Antimony into Silicon」, 전자공학회지(7권 2호), pp.43-46, 1996.06. 대한전자공학회
4. 정원채 「비정질실리콘에 인의 이온주입과 다결정 실리콘에 관한 연구」, 산업기술종합연구소 논문집(14집), pp.137-145, 1997.11. 경기대학교 산업기술종합연구소
5. 정원채 「실리콘에 MeV로 이온 주입된 인의 결합분포와 Profile에 관한 연구」, 전기전자재료학회지(10권 9호), pp.881-889, 1997.11. 한국전기전자재료학회
6. 정원채 「실리콘 기판에 Ar 이온주입과 Wet blasting 처리후에 Lifetime 비교」, '97추계학술대회논문집(20권 2호), pp.485-488, 1997.11. 대한전자공학회
7. 정원채 「실리콘에 MeV로 이온주입된 As와 Profile과 열처리에 의한 이온의 거동에 관한 연구」, 대한전자공학회논문지(D집 35권 3호), pp.258-267, 1998.03. 대한전자공학회
8. 정원채 외1명 「마스크 Dimensions와 열처리조건에 따른 이온의 분포에 관한 연구」, (21권 1호), pp.319-322, 1998.06. 대한전자공학회
9. 정원채 외1명 「Arsenic heavy ion damage처리후 이온분포에 관한 연구」, (21권 1호), pp.322-326, 1998.06. 대한전자공학회
10. 정원채 외1명 「쇼트키 다이오드의 전류-전압 특성에 관한 연구」, (21권 2호), pp.649-652, 1998.11. 대한전자공학회
11. 정원채 외1명 「마스크폭에 따른 이온 분포의 모의실험」, 산업기술종합연구소논문집(14집), pp.191-198, 1998.12. 경기대학교 산업기술종합연구소
12. 정원채 「비정질 실리콘에서 인의 도핑과 이온주입에 따른 농도 분포에 대한 연구」, 한국전기전자 재료학회 논문지(12권 1호), pp.18-26, 1999.01. 한국전기전자 재료학회
13. 정원채 외1명 「여러가지 장볍 높이에 대한 쇼트키 다이오스의 전류-전압 특성에 관한 연구」, 경기대 산업기술종합연구소 논문집`(17집 17권), pp.175-185, 1999.04. 경기대
14. 정원채 「실리콘에 알루미늄 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구」, 경기대 논눈집(40집 40권), 1999.12. 경기대
15. 정원채 외1명 「JBS 정류기의 PN접합구조에 따른 I-V 특성에 관한 연구」, 한국전기전자재료학회지(13권 1호), pp.13-20, 2000.01. 사단법인 한국전기전자재료학회
16. 정원채 외1명 「실리콘에 Boron 이온주입에 의한 Ultrashallow PN접합 형성에 관한 연구」, 대한전자공학회 하계학술대회논문집II(23권 1호), pp.56-59, 2000.06. 대한전자공학회
17. 정원채 외1명 「실리콘 웨이퍼 공정스텝에서 FTIR에 의한 산소의 측정」, 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집(23권 1호), pp.68-71, 2000.06. 대한전자공학회
18. 정원채 외1명 「마스크 폭에 따른 Ultrashallow PN접합 형성에 관한 연구」, 경기대학교 산업기술종합연구소 논문집(19집 19권), pp.255-265, 2000.09. 경기대학교
19. 정원채 외1명 「붕소이온 주입에 의한 P+ n 접합 다이오드에 관한 연구」, 대한전자공학회 추계종합학술대회 논문집(23권 2호), pp.225-228, 2000.11. 대한전자공학회
20. 정원채 외1명 「이방성 식각기술을 이용한 실리콘 에칭방법에 관한 연구」, 경기대학교 산업기술종합연구소 논문집(12집 21권), pp.89-100, 2001.06. 경기대학교
21. 정원채 외1명 「실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 wet etching에 관한 연구」, 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집(2집 24권), pp.237-240, 2001.06. 대한전자공학회
22. 정원채 「전동밸브의 구동회로에서 Opto-coupler들의 one chip화 구현」, 대한전자공학회 하계학술대회 논문집(1집 24권), pp.181-184, 2001.06. 대한전자공학회
23. 정원채 외2명 「Tipless 방식에 의한 디스플레이 고진공 배기 밀봉장치 개발에 관한 공정개발연구」, 한국전기전자재료학회 하계학술대회 논문집(2집 2권), pp.817-820, 2001.07. 한국전기전자재료학회
24. 정원채 외1명 「P+ - n 접합 다이오드의 C-V 특성에 관한 연구」, 산업기술종합연구소 논문집(22집), pp.149-162, 2001.12. 경기대학교 산업기술종합연구소
25. 정원채 외2명 「LCD 기술연구 동향」, 대한전기학회 전기의세계(51집 1호), pp.39-42, 2002.01. 대한전기학회
26. 정원채 「실리콘에 붕소의 고에너지 이온주입에 의한 농도분포에 관한 연구」, 한국전기전자재료학회논문지(15집 4호), pp.289-300, 2002.04. 한국전기전자재료학회
27. 정원채 「안티몬 도핑된 (111)실리콘에 제작된 P+/N 접합다이오드의 I-V 와 C-V측정」, Transactions on Electrical and Electronic Materials(3집 2호), pp.10-15, 2002.06. 한국전기전자재료학회
28. 정원채 「PMMA층 아래에 서로 다른 재료에 전자빔의 직접묘화에 의한 현상된 패턴의 측정」, Transactions on Electrical and Electronic Materials(3집 3호), pp.1-7, 2002.09. 한국전기전자재료학회
29. 정원채 외1명 「후막필름 접착제제조 기술분석」, 2002년도추계학술대회논문집(15집), pp.354-357, 2002.11. 한국전기전자재료학회
30. 정원채 외1명 「냉음극 형광램프의 전기적 및 광학적 특성」, 2002년도 추계학술대회논문집(15집), pp.502-505, 2002.11. 한국전기전자재료학회
31. 정원채 외1명 「다층막 스퍼터링 증착장치의 설계」, 2002년도 추계학술대회논문집(15집), pp.548-551, 2002.11. 한국전기전자재료학회
32. 정원채 외1명 「휘도 향상에 직접 영향을 미치는 BLU부품에 관한 특성 분석」, 산업기술종합연구소 논문집(24집), pp.78-84, 2002.12. 경기대학교
33. 정원채 「실리콘 반도체공정모의실험에 관한 연구」, 산업기술종합연구소 논문집(27집), pp.37-46, 2004.06. 경기대학교 산업기술종합연구소
34. 정원채 「실리콘에 고에너지 안티몬이온주입의 실험과 개선된 모델에 관한 연구」, 전기전자재료학회논문지(17권 11호), pp.1156-1166, 2004.11. 한국전기전자재료학회
35. 정원채 외1명 「실리콘에서 주입된 이온들의 측면분포에 관한 연구」, Transaction on Electrical & Electronic Materials(7집 4호), pp.173-179, 2006.08. 한국전기전자재료학회
36. 정원채 「실리콘에 BF2로 이온주입후에 Boron 이온의 일차원 및 이차원적인 분포해석」, 한국전기전자재료학회 추계학술대회 논문집(19집), pp.99-100, 2006.11. 한국전기전자재료학회
37. 정원채 외1명 「열처리 본딩 기술에 의한 Al/Sus 와 Al/Al에 관한 연구」, 한국전기전자재료학회 추계학술대회 논문집(19집), pp.282-283, 2006.11. 한국전기전자재료학회
38. 정원채 「저압가스증착에 의해서 증착된 탄탈옥사이드 절연층에 관한 연구」, 산업기술종합연구소 논문지(31집), pp.227-232, 2006.12. 산업기술종합연구소
39. 정원채 「반도체공정에서 열적인 파를 이용한 비접촉적인 금속층의 두께측정에 관한 연구」, 산업기술종합연구소(32권), pp.19-25, 2007.12. 경기대학교
40. 정원채 외1명 「열처리 본딩 기술을 이용한 Al6061/Al6061 및 Al6061/Su304의 기계적 및 전기적 특성에 관한 실험적 연구」, 한국표면공학회지(41권 6호), pp.325-330, 2008.12. 한국표면공학회
41. 정원채 외1명 「22.9kV 대용량 전력계통을 위한 진공차단기에 관한 연구」, 산업기술종합 연구소 논문집(34집), pp.121-132, 2008.12. 경기대학교 산업기술종합연구소
42. 정원채 「A Study on Distributions of Boron Ions Implanted by Using B and BF2 Dual Implantations in Silicon」, Transactions on Electrical and Electronic Materials(11권 3호), pp.120-125, 2010.06. 한국전기전자재료학회
43. 정원채 「높은 항복특성을 나타내는 이중층 산화막의 제작에 관한 연구」, 산업기술종합연구소 논문집(37권), pp.103-110, 2010.06. 경기대학교
44. 정원채 외1명 「이온 주입된 프로파일의 3-D의 해석적인 모델에 관한 연구」, 전기전자재료학회논문지(25권 1호), pp.6-14, 2012.01. 한국전기전자재료학회
45. 정원채 외1명 「전도성 네피온필름-금 전극층 액츄에이터에 관한 연구」, 전기전자재료학회논문지(26권 5호), pp.360-366, 2013.05. 한국전기전자재료학회
46. 정원채 「집속이온빔 연마에 의한 패턴의 형태에 관한 연구」, 전기전자재료학회논문지(27권 11호), pp.679-685, 2014.11. 한국전기전자재료학회
47. 정원채 「비정질 및 단결정 실리콘에서 10∼50 keV 에너지로 주입된안티몬 이온의 분포와 열적인 거동에 따른 연구」, 전기전자재료학회논문지(28권 11호), pp.683-689, 2015.11. 한국전기전자재료학회
48. 정원채 「낮은 에너지로 실리콘에 이온 주입된 분포와 열처리된 인듐의 거동에 관한 시뮬레이션과 모델링」, 전기전자재료학회논문지(29집 29권 12호), pp.750-758, 2016.12. 한국전기전자재료학회
49. 정원채 「실리콘 직접 본딩에 의한 P-N 접합의 특성에 관한 연구」, 전기전자재료학회논문지(30권 10호), pp.615-624, 2017.10. 한국전기전자재료학회
50. 정원채 「SiGe에 이온 주입과 열처리에 의한 불순물 분포의 연구」, 전기전자재료학회논문지(31권 6호), pp.377-385, 2018.09. 한국전기전자재료학회
51. 정원채 「실리콘에서 깊은 접합의 형성을 위한 알루미늄의 확산 모델」, 전기전자재료학회논문지(33집 33권 4호), pp.263-270, 2020.07. 한국전기전자재료학회

저서

1. 정원채 외1명 「광전자공학(Optoelectronic Engineering)」, 미컴사, 2000.08.
2. 정원채 외4명 「반도체소자공학」, McGraw-Hill Korea, 2006.08.
3. 정원채 외4명 「An Introduction to Semiconductor Device」, 퍼스트북, 2019.08.

교외연구과제

1. 정원채 「실리콘 기판에 고에너지 이존주입의 실험과 Simulation결과와의 비교」, 경기대학교, 1900
2. 정원채 「이온빔 마스크 제작 신공정 기술개발(1차년도)」, 한국자원연구소, 1999
3. 정원채 「이온빔 마스크 제작 신공정 기술개발(2차년도)」, 한국자원연구소, 2000
4. 정원채 「열처리 bonding 장비개발」, 중소기업청/경기도청/(주)티티에스, 2005
5. 정원채 외1명 「태양전지 모듈을 이용한 발광다이오드(LED) 조명 개발」, 일반[용역], 2008